1.真空腔室:Φ350×H400mm;
2.真空极限:≤5.0×10-5Pa;
3.漏率:≤0.8Pa/h;
4.基片台尺寸:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
真空指标:极限真空优于6.6×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
设备保压:停泵12小时候后,真空≤10Pa;
抽速:空载从大气抽至8.0×10-4Pa≤45min;
真空极限:≤8.0×10-5Pa;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;可镀基片尺寸/面积:Φ100mm范围内可装卡各种规格基片;
抽速:从大气抽至8.0×10-4Pa≤40min;
设备升压率:≤0.8Pa/h;
设备保压:停泵12小时候后,设备真空度≤10Pa;
极限真空:空载优于5.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至5.0×10-4Pa≤40min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
极限真空:空载优于6.0×10-5Pa(设备空载抽真空24小时);
抽速:空载从大气抽至6.0×10-4Pa≤30min;
漏率:设备升压率≤0.8Pa/h;
控制方式:PLC+触摸屏人机界面半自动控制系统;
真空炉体:Φ350×L550mm(内净尺寸),不锈钢双层水冷结构;
工件加热温度:采用内置钼加热器及多层不锈钢+钼桶热屏蔽层;
加热器材料:钼;
极限温度:≥1200℃;
温控精度:±3℃;
右电极:长度300mm;手动驱动推进电极前进,导轨导向;
控制方式:手动按钮控制方式;
真空腔室:Φ250mm×H350mm,304优质不锈钢真空腔室;
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17.121.113.* 美国Apple网友 zczhongyu 于2020-01-01 19:45:28发表评论:
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66.249.72.* 美国Google网友 hkiaecl9468 于2020-08-22 00:44:07发表评论:
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114.119.130.* 新加坡华为云网友 syhmc1443 于2021-04-18 06:04:49发表评论:
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103.249.87.* 马来西亚网友 fcyhc557 于2020-01-28 10:40:39发表评论:
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118.26.36.* 中国北京experian网友 qciiec5329 于2020-06-17 14:04:45发表评论:
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173.82.70.* 美国加利福尼亚州洛杉矶MULTACOM数据中心网友 ntcxgx 于2019-04-21 16:01:19发表评论:
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95.163.255.* 俄罗斯莫斯科Mail.ru网友 jasonlenotankcom 于2019-10-13 19:07:17发表评论:
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182.61.144.* 中国北京驰骏网络科技有限公司网友 xinhengjie 于2019-05-30 10:31:01发表评论:
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